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产品编号:
高性能旋涂系统
产品名称:
匀胶机
规  格:
KW4T
产品备注:
中科院微电子所研发
产品类别:
匀胶机
 
   产 品 说 明
高性能旋涂系统
High-performance Spin Coater
KW4T触摸版高性能涂胶系统
 
l   广泛应用于半导体,集成电路,材料,微光学,生命科学,凝聚态物理,化学等科学研究与生产。
l   可用于硅片/载玻片/化合物镜片/ITO/导电玻璃等各种基底材料的表面处理和涂覆。
l   20年精心打造核心技术, KW4T全触摸屏高性能匀胶机全新上市!性能全面提升,全新外观!
l   国产匀胶机第一品牌。
 
型号
KW4T
转速
300-9000 RPM
转速稳定性
1RPM
旋涂均匀性(一致性)
<1%(片内);<1%(片间)
基片尺寸
Φ5-Φ100mm圆片,最大100mm×100mm方片
显示/程序控制
全触摸屏操作,快速启动,人性化界面
6步工艺调速设计,0-1800s时间可调,专业用户最适合需求
整机尺寸(mm3)
280×220×160
工艺支持
依托中科院微电子所工艺平台,提供全方位微纳加工工艺支持
适应材料/工艺支持
适合硅片、玻璃、石英、金属、GaAs,GaN,InP等各种材料,工艺服务
特殊夹具定制
20年特殊夹具设计经验,完美匹配超薄、异形、脆性易碎样品
电机功率
40W
抽气速率
>60L/min
配置
主机+真空泵+基片三个(5-45毫米的圆形基片任意选择)
质量保证
中科院微电子所独家设计制造,通过ISO9000质量体系认证
点击数:115  录入时间:2019-4-29 【打印此页】 【关闭
 
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